目視檢測工作燈 (灰塵檢測燈)

適用於生產現場的品質檢測燈

大面積檢測光源,適合檢查產品表面傷痕,污垢等物品的外觀檢測,輔助視覺判斷,改善質量檢測。

檢測無塵室中工件上的黏性灰塵顆粒

在無塵室的普通照明下,通常很難區分顆粒與背景

只有特定波長+低角度準直光源,才能使黏性顆粒清晰可見

應用

  • 晶圓黏性塵粒檢視
  • 晶圓光罩瑕疵檢視 (例如, 光罩傳送盒RSP200)。
  • 玻璃等透明材料、或金屬表面刮痕灰塵檢查。
  • 機械零件/ 元件外觀瑕疵檢測。
  • USP <790> <1790> 目視檢測
  • 底色為白色,不易被檢測的受檢表面
    (可使用進階款ITL Mk2)

精簡款

  • 基本灰塵檢出能力
  • 具風扇
  • 提升散熱效果,適合品質檢測等需長時間的使用
  • 雙光源頻道可切換使用
  • 白/綠色光為標配,藍/琥珀色光可選配
  • 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
  • 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
  • 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源

基本款 ( ITL Mk1)

  • 中度灰塵檢出能力
  • 無風扇
  • 被動散熱設計,強化散熱模組,無須風扇即可達優異的散熱效果;最適合在無塵室中對灰塵檢出有極度要求,空氣流動需達穩定狀態的的產業,例如半導體、生物技術、精密儀器製造、製藥使用
  • 雙光源頻道可切換使用
  • 白/綠色光為標配,藍/琥珀色光可選配
  • 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
  • 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
  • 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源

進階款 (ITL Mk2)

  • 與基礎款相比,進階款優化了光學性能和光源設計,不僅準直度提昇,還將塵埃顆粒測量提高了一個數量級
  • 無風扇
  • 被動散熱設計,強化散熱模組,無須風扇即可達優異的散熱效果;最適合在無塵室中對灰塵檢出有極度要求,空氣流動需達穩定狀態的的產業,例如半導體、生物技術、精密儀器製造、製藥使用
  • 單光源頻道
  • 綠色光為標配,白/藍/琥珀色光可選擇
  • 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
  • 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
  • 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源

註: 樣品晶圓在Mk1下可見 300+ 個塵粒,在Mk2下可見 3000+ 個塵粒。 (灰塵檢測比較圖)

平台式(所有款式)的光源盒可獨立安裝懸臂支架夾具(如右圖),適用於需要一致均勻照明的大面積使用。

支架式

幫助照亮和顯示無塵室中晶圓上的灰塵顆粒

了解並回應客戶需求:從MK1MK2,我們不斷改進,以滿足半導體產業、製藥廠和精細印刷公司以及其他使用無塵室的客戶的特定需求。

陶瓷電路板的白色基板。底色為白色的受檢表面上面的瑕疵及塵粒通常不易被檢測,但在進階款Mk2的特定角度下可明顯視別。適合等對空氣中塵埃大小和數量有嚴格要求的產業。

與目前日本品牌檢查燈只有面積略大於50元硬幣的準直偵測光源相比,我們的Mk2即使在20x20cm尺寸的工件上仍可提供準直且均勻的大面積光場(圖三)

MK2檢測效果圖示組

圖一
( 圖一: )
20x20cm白色基板在環境光下
環境光: On
裝置光: Off
觀察角度: Correct
圖二
( 圖二: )
環境光保持,MK2開啟
環境光: On
裝置光: On
觀察角度: Correct
圖三
( 圖三: )
模擬暗室條件,僅開啟MK2
環境光: Off
裝置光: On
觀察角度: Correct

MK1檢測效果圖示組

在其他品牌的白光下
在ITL MK1 的藍色準直光下


在ITL MK1 藍色準直光下
可見螢光灰塵(綠光下看不見)
在ITL MK1的綠色準直光下
可見極細灰塵(在綠光下人眼的敏感度高)

ITL平台式-基本款Mk1 vs.進階款Mk2 灰塵檢測比較圖

優點

  • 可調性。多角度可調光源避免反光。
  • 配合設置環境,選擇平台或支架型固定型。
  • 腳踏開關控制切換光源,使用人員可專心進行產品檢查。
  • 提供多種可選的多波長光源,適用於需要視覺檢查作為質量控制的各種行業,例如焊接。
  • 不銹鋼材質,耐用衛生,適合無塵室。
  • 完善現有的檢測設施,有效提高生產線上檢測效率。
  • 在工作表面提供豐富,均勻的漫射光,提供定制的2波長大功率LED光源。
  • 使現場檢查變得快速而簡單。
  • 目視檢查照明有助於檢測各種表面缺陷,包括裂縫。

更多