檢測無塵室中工件上的黏性灰塵顆粒
在無塵室的普通照明下,通常很難區分顆粒與背景
只有特定波長+低角度準直光源,才能使黏性顆粒清晰可見
應用
- 晶圓黏性塵粒檢視
- 晶圓光罩瑕疵檢視 (例如, 光罩傳送盒RSP200)。
- 玻璃等透明材料、或金屬表面刮痕灰塵檢查。
- 機械零件/ 元件外觀瑕疵檢測。
- USP <790> <1790> 目視檢測
- 底色為白色,不易被檢測的受檢表面
(可使用進階款ITL Mk2)
精簡款
- 基本灰塵檢出能力
- 具風扇
- 提升散熱效果,適合品質檢測等需長時間的使用
- 雙光源頻道可切換使用
- 白/綠色光為標配,藍/琥珀色光可選配
- 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
- 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
- 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源
基本款 ( ITL Mk1)
- 中度灰塵檢出能力
- 無風扇
- 被動散熱設計,強化散熱模組,無須風扇即可達優異的散熱效果;最適合在無塵室中對灰塵檢出有極度要求,空氣流動需達穩定狀態的的產業,例如半導體、生物技術、精密儀器製造、製藥使用
- 雙光源頻道可切換使用
- 白/綠色光為標配,藍/琥珀色光可選配
- 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
- 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
- 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源
進階款 (ITL Mk2)
- 與基礎款相比,進階款優化了光學性能和光源設計,不僅準直度提昇,還將塵埃顆粒測量提高了一個數量級
- 無風扇
- 被動散熱設計,強化散熱模組,無須風扇即可達優異的散熱效果;最適合在無塵室中對灰塵檢出有極度要求,空氣流動需達穩定狀態的的產業,例如半導體、生物技術、精密儀器製造、製藥使用
- 單光源頻道
- 綠色光為標配,白/藍/琥珀色光可選擇
- 照射角度可調節。可自由調整亮度(調光範圍: 0% ~ 100%)
- 大面積光源。照射範圍 (廣度) 優於一般市面上灰塵檢測光源
- 可外接相機用以觀察或計量。支援透過踏板或連接系統切換光源
註: 樣品晶圓在Mk1下可見 300+ 個塵粒,在Mk2下可見 3000+ 個塵粒。 (灰塵檢測比較圖)
平台式(所有款式)的光源盒可獨立安裝懸臂支架夾具(如右圖),適用於需要一致均勻照明的大面積使用。
MK2檢測效果圖示組
MK1檢測效果圖示組
ITL平台式-基本款Mk1 vs.進階款Mk2 灰塵檢測比較圖
優點
- 可調性。多角度可調光源避免反光。
- 配合設置環境,選擇平台或支架型固定型。
- 腳踏開關控制切換光源,使用人員可專心進行產品檢查。
- 提供多種可選的多波長光源,適用於需要視覺檢查作為質量控制的各種行業,例如焊接。
- 不銹鋼材質,耐用衛生,適合無塵室。
- 完善現有的檢測設施,有效提高生產線上檢測效率。
- 在工作表面提供豐富,均勻的漫射光,提供定制的2波長大功率LED光源。
- 使現場檢查變得快速而簡單。
- 目視檢查照明有助於檢測各種表面缺陷,包括裂縫。