無塵室內的製造區發現黏性微塵粒子
在許多行業的元件製造過程中,如半導體元件,光學鏡片和LCD面板,不允許在空氣中有太多的灰塵顆粒; 對於製造過程中的某些步驟,例如半導體,在清潔,載流子傳輸操作或塗覆光致抗蝕劑的過程中,由於空氣中的顆粒會影響產品的質量並造成顯著的損失。所以需要在無塵室中進行工作。
然而無塵室裡還是會有極少量的灰塵,這些灰塵的產生,除了因空氣對流,還有可能來自於物品耗材(例如手套,口罩)與人體產生(例如皮膚表面的死皮細胞)。
在無塵室中,某些氣流死角區域還是會慢慢堆積微塵。若空氣因擾動,這些空降的微塵粒子將直接掉落在產品或人體表面上,而不會被粒子計數器檢測到。 這些不易漂浮在無塵室空氣中的灰塵顆粒, 當它們由於靜電或極性聚集在一起時,便很難將這些粘性灰塵吹到排氣口。
不僅空氣濾清器對於此類黏著性粉塵的收集效率低,微粒計數器(Particle Counter)也難以計數(感知),黏著性粉塵一旦黏附在重要表面(例如光罩)可能影響良率(線徑越細,影響程度越高)。
若作業員在一般(白光)照明下,難以區別微塵粒子與背景時,自然無法有效清除灰塵,進而影響良率造成損失。 為此,在無塵室中,若能使用特定波長或低角度準直光源的檢測工具,將可有效檢視出在產品上的黏著性粉塵,進而降低不良率。
承奕科技的光源:有兩種光波長對應兩類微塵粒子
- 藍色激發光對應有螢光反應的微塵粒子。
- 綠光對應無螢光反應的微塵粒子。
- 黃光或4000k白光對應有防塵薄膜(Pellicle)光罩上的微塵粒子。