無塵室內的製造區發現黏性微塵粒子

半導體元件的製造過程不容許空氣中含有過多微粒;因為空氣中的微粒,對半導體製作的某些步驟,如清洗,載體傳輸操作或塗敷光阻劑等過程時,會影響產品的品質而形成重大的損失。所以需要在無塵室中進行工作。

然而無塵室裡還是會有極少量的灰塵,這些灰塵的產生,除了因空氣對流,還有可能來自於物品耗材(例如手套,口罩)與人體產生(例如皮膚表面的死皮細胞)。

在無塵室中,某些氣流死角區域還是會慢慢堆積微塵。若空氣因擾動,這些空降的微塵粒子將直接掉落在產品或人體表面上,而不會被粒子計數器檢測到。 這些不易漂浮在無塵室空氣中的灰塵顆粒, 當它們由於靜電或極性聚集在一起時,便很難將這些粘性灰塵吹到排氣口。

不僅空氣濾清器對於此類黏著性粉塵的收集效率低,微粒計數器(Particle Counter)也難以計數(感知),黏著性粉塵一旦黏附在重要表面(例如光罩)可能影響良率(線徑越細,影響程度越高)。

若作業員在一般(白光)照明下,難以區別微塵粒子與背景時,自然無法有效清除灰塵,進而影響良率造成損失。 為此,在無塵室中,若能使用特定波長或低角度準直光源的檢測工具,將可有效檢視出在產品上的黏著性粉塵,進而降低不良率。

承奕科技的光源:有兩種光波長對應兩類微塵粒子

  • 藍色激發光對應有螢光反應的微塵粒子。
  • 綠光對應無螢光反應的微塵粒子。
  • 黃光或4000k白光對應有防塵薄膜(Pellicle)光罩上的微塵粒子。

桌上型黏性微塵粒子 / 刮痕檢視光源

  • 兩種光色可切換,可獨立調亮度。
  • 準直化光源增進微塵粒子對比。
  • 照射角度可調節。
  • 不銹鋼材質。防靜電及EMI。
  • 可用腳踏板開關選擇光色。
  • 可裝置在螢幕旋臂上(選配)

手持式黏性微塵粒子檢視光源

X-Loupe AgileLite手持型:雙光源可切換,照角可調節。搭配濾鏡或濾鏡眼鏡使用
X-Loupe BoxLite手持型:雙光源可切換經濟型。搭配濾鏡或濾鏡眼鏡使用

案例一:剛開封新手套(一般光源難以發現)

普通光源難以發現
特定波長藍光+濾鏡(或濾光眼鏡)可以看到(箭頭處)

案例二:使用過的口罩(激發螢光無所遁形)

染過的頭髮、化妝品、指甲油屑
保養品轉移

案例三:晶圓異物 / 刮傷檢測

一般白光下
藍色準直光下

案例四:光罩異物 / 刮傷檢查

白光下
藍色準直光下

案例五:光罩異物 / 刮傷檢查

白光下
藍色準直光下

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